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了解一下超净室净化的保持方法

发布时间:2021-01-20   点击次数:77次
  超净室是一种严格要求卫生环境的房间,主要用于光学器件制做,超净室内可以进行涂胶、光刻、蒸发镀膜及键合,清洗、烘干、电镀、腐蚀、扩散及研磨等。超净室条件的保持也特别重要,需要保持个人清洁卫生、时常维护超净室环境的设备、做好设备维护运行记录。
 
  下面让我们来了解一下超净室净化的保持方法
 
  1.工作人员应首先做到保持个人清洁卫生,进入室内不要带贵重金属、装饰品及一切化妆品,所用记录纸应选用不起尘纸,记录笔用圆珠笔。
 
  工作人员每人少准备三套洁净服,供换洗及备用,洁净服每周应清洗两次,并与外衣分别设置存衣柜。超净室入口处应设置跨越式鞋柜及粘鞋垫。设备搬入室内前要用吸尘器或其它清洗方式清理干净。每天清扫超净室,包括地面、墙壁及工作台面。
 
  由于春季风沙较大,因此,门窗应密闭,采用双层结构。风淋室前后门不得同时开启,以防非净化空气污染净化工作区。
 
  设置循环净化送风系统是为保持室内洁净度达到规定等级。进入超净室前需更换洁净服及拖鞋,经风淋后方可入内。进入室内操作前20-30分钟,即应打开循环净化送风系统,下班后应将工件、工具等物品存放妥善后,停止净化送风系统。净化系统停止运行后,不应随便进入室内,以减少对超净室的污染。
 
  2. 时常维护超净室环境的设备,使之处于良好工作状态是保证洁净度的前提。相应设备包括柜式空调机、风淋室、使室内洁净度达1000级的循环净化送风系统、洁净度达100 级的光刻区层流罩净化送风系统及净化涂胶台和工作台。
 
  循环净化送风系统为单机送风,使室内保持正压。送风形式为上送、侧下回,经初效、中效、高效三级过滤,设计风量3000m3/h , 风压410Pa。 风淋室设置于超净室入口处,用于吹除工作人员身上的浮尘,是进入室内的关口。风淋时,先设定时间,若需加热,可打开温控开关。根据需要调节喷口角度以提高风淋效率。
 
  正确操作、调整空调以保持规定湿度和温度。定期检查室内、外机组运行及电气线路连接状况。所有循环净化送风系统,当进风口处的过滤器表面发黑时,表明阻力增大,影响净化效果,应定期用吸尘器清洁,必要时拆下清洗或更换。
 
  风淋室喷口风速应每年测(低于规定参数值时,则应更换高效过滤器,更换时要注意箭头标志及密封处不可渗漏。定期进行风机电气线路检修,以保证绝缘及接触良好。
 
  严格按规程操作,工作泵不能无水运行。视水质状况,一年左右清洗、更换过滤树脂或精密过滤芯以及紫外线杀菌灯一次。
 
  当水箱水位达下限而报警时,应向水箱注入原水。关机时,注意同时关闭有关阀盘,以保持系统密封。专业设备的管理及维护应由专人负责,使设备保持良好的性能,对延长其使用寿命大有益处。另外,应做好设备维护运行记录。
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