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看完本篇让你对​微电子净化工程有更多的了解

发布时间:2021-10-18   点击次数:22次
  微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。
 
  ​微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。
 
  微电子净化工程一般包括:
 
  1、 洁净生产区
 
  2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
 
  3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
 
  4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
 
  微电子净化工程净化原理
 
  气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌
 
  等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
 
  微电子净化工程结构材料
 
  1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
 
  2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
 
  3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
 
  4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
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