新闻中心您现在的位置:首页 > 新闻中心 > 关于微电子净化工程的设计过程的一些看法

关于微电子净化工程的设计过程的一些看法

发布时间:2021-10-08   点击次数:35次
  微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。
 
  近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。
 
  净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。
 
  再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。
 
  1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
 
  这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
 
  优点:
 
  A.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精确;
 
  B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;
 
  C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;
 
  D.维修频率较低;
 
  E.车间的噪音低。
 
  特点:
 
  A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;
 
  C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
 
  2、微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+高效送风口
 
  与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
青岛洁净净化技术有限公司

青岛洁净净化技术有限公司

地址:青岛市市北区瑞昌路226号海信环湾大厦17层

© 2021 版权所有:青岛洁净净化技术有限公司  备案号:  总访问量:32365  站点地图  技术支持:化工仪器网  管理登陆

QQ在线客服
联系方式

13655427722

86-0532-83776308